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光阻 塗佈機

「光阻 塗佈機」文章包含有:「【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術」、「光阻劑」、「光阻塗佈機(SpinCoater)」、「光阻涂布」、「光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務」、「半導體製程類設備」、「半導體製造中的塗佈」、「厚膜光阻塗佈機」、「旋轉塗佈技術簡介」

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【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術
【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術

https://www.automan.tw

光阻塗佈是半導體製程中一個非常重要的步驟,我們經常要在晶圓上塗佈一層光阻劑,其厚度最薄可能是100奈米(1奈米=十億分之一米),最厚可能是50微米(1 ...

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光阻劑
光阻劑

http://homepage.ntu.edu.tw

底漆層蒸氣塗佈. 脫水烘烤. 晶圓. 預備處理反應室. 底漆層. 預烘烤及底漆層蒸氣塗佈. 晶圓. 加熱平板. 加熱平板. HMDS 蒸氣. 16. 光阻旋轉塗佈機. 真空. 光阻.

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光阻塗佈機(Spin Coater)
光阻塗佈機(Spin Coater)

https://www.rmt.com.tw

主要是用來作光阻的塗佈。 旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心,在藉由不同階段的轉速和 ...

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光阻涂布
光阻涂布

https://www.mrnanotec.com.tw

本公司之各类涂布机适合不同需求之黄光制程包含:触控可程式光阻涂布机(桌上型)、两段式旋转涂布机(桌上型)、小型两段式旋转涂布机(桌上型)、桌上型伺服涂布机等专业涂布机 ...

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光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務
光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務

https://web.tnu.edu.tw

(3.) 上光阻: 利用旋轉的離心力,使光阻能均勻塗佈在表面。 (4.) 軟烤: 將光阻原有的液態轉為固態的薄膜,使光阻層對晶片表面的 ...

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半導體製程類設備
半導體製程類設備

https://prohanns.com.tw

光阻塗佈機/Coater. CSE S-470主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。Spin Coating是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心,在藉由不同 ...

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半導體製造中的塗佈
半導體製造中的塗佈

https://www.keyence.com.tw

半導體製造製程中的塗佈,在以積體電路的基礎晶圓的表面處理、光阻劑塗佈、鍍膜等為目的的製程中,處處承擔著重要作用。KEYENCE「製程中的『塗佈』」,廣泛介紹透過 ...

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厚膜光阻塗佈機
厚膜光阻塗佈機

http://www.apisc.com

厚膜塗佈機/ 厚膜光阻塗佈機/ 光阻塗佈機SP-06. 型號, SP-06. 機台尺寸, 280W x450Dx260H ... 塗佈範圍, 附1/2 ~1治具(2 ~ 8治具選購).

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旋轉塗佈技術簡介
旋轉塗佈技術簡介

http://synrex.com

塗佈應用. ○ 光阻塗佈(半導體、平面顯示、觸控). ○ 光學膜塗佈(增亮、抗炫、抗 ... 6-8吋旋轉塗佈機. 6-8in spin coater. 8吋旋轉塗佈/貼合/IR烘乾多功能塗佈. 機.